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1.3 国内外发展概况与发展趋势
2 升降机构及其结构设计
2.1 引言
晶圆自动传输系统的主要功能是将晶圆平稳运输,包括片盒承载台、机械手转动台和晶圆测试台组成。在片盒承载台的设计中,分为升降机构、片盒加紧机构和片盒定位机构[15],本文主要针对升降机构进行阐述。
2.2 升降机构的作用
在晶圆测试自动传输系统中,升降机构主要负责片盒承载台在竖直方向的上下移动,其定位通过电机来精确控制,初始定位由传感器确定,以此实现垂直方向的精确动作与位移,完成晶圆测试的各项需要[16]。晶圆的升降运动要保证机构的运动平稳快速,顺畅便捷,导轨的竖直导向精确误差小,并保持升降时承载台的稳定。升降机构的主要功能有:
(1)能准确控制承载台沿着竖直方向的运动坐标位置并反馈回控制系统,对驱动装置进行设定与调整。
(2)将晶圆片稳定放置于承载台上,使其在升降运动中保持稳定与正常状态。
(3)使机构运动平稳,竖直导轨沿竖直方向顺畅运动,并能带动承载台在竖直方向的上下往复运动[17]。
2.3 升降机构的主要组成
升降机构的主要组成是升降台、导轨滑块、滚珠丝杠副、同步轮与同步皮带、电机、轴承[18]。结构示意图如图2.1所示。
1-载物芯片盒 2-步进电机 3-升降台 4-丝杠支撑座 5-滚珠丝杠
6-丝杠固定座 7-导轨 8-滑块 9-机架底座
图2.1升降机构总体结构示意图
2.4 升降机构的自由度
晶圆测试台的升降机构的主要功能是使用电机作为驱动装置,再通过传动带动滚珠丝杠进行旋转运动,带动丝杠的螺母在滑块的导向下沿着竖直方向进行晶圆片的传输[19],对这一主要功能进行分析,该系统对水平方向的传送与转动没有要求,也没有转动的自由度,只存在竖直方向的一个自有度即使载物升降台上下移动的自由度。
2.5 设计要求根据所给定的原始数据
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