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1.2
文献综述
1.2.1 国内外发展
现状
1.2.2在光学应用领域
1.2.3 在半导体器件、大规模集成电路制造的应用领域
1.2.4 电容器、包装和装饰金属化膜材的应用
卷绕真空镀膜主要是利用电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射技术在带状的非金属和金
属基材上镀制具有装饰和保护特性的包装和装饰膜材、具有电学特性的电容器用金属化薄
膜带材,具有磁纪录特性的录像带、软盘用带材,同时该类镀膜也用于软性电子学电路膜
片式开关元件、透明模式加热元件、电磁屏蔽膜的制作。
表5 卷绕真空镀膜设备国外主要厂家:
德国应用薄膜(APPLIED FILMS) 意大利伽里略(GALILEO VACUUM TEC) 通用真空设备(GENERA L)
电容器类 MUL IMET W65O
MUUrIWEB W65/5O
包装装饰类 T0PMET V2/HRLine DELTA
T0PBEAM M EGA Line
表6 卷绕真空镀膜设备国主内要厂家:
国投南光有限公司 上海曙光机器厂 兰州曙光机器厂
电容器类 ZZ5OO.D 系列
ZZ65O.D系列
包装装饰类 ZZI100-Z系列 ZZ.1800K 系列 ZZL系列
ZZI300.Z系列 ZZ.2400系列
ZZI6o0.Z系列 ZZB.2500系列
1.2.5镀膜机的优点缺点和特点
真空镀膜技术的优点:通过真空镀膜技术的应用,使塑料表面金属化,将有机材料和无机材料结合起来,大提高了它的
物理
、
化学
性能。其优点主要表现在:
改善美观,表面光滑,金属光泽彩色化,装饰性大大提高;
改善表面硬度,原塑胶表面比金属软而易受损害,通过真空镀膜,硬度及耐磨性大大增加;
提高耐候性,一般塑料在室外老化很快,主要原因是紫外线照射所致,而镀铝后,铝对紫外线反射最强,因此,耐候性大大提高;
减少吸水率,镀膜次数愈多,针孔愈少,吸水率降低,制品不易变形,提高耐热性;
使塑料表面有导电性;
容易清洗,不吸尘
真空镀膜技术的缺点:
真空镀膜的黏附性比较差,容易脱落
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