概述
1.1 PVD技术综述
PVD的英文全称叫做Physical Vapor Deposition,其中文意思是物理气相沉积。物理气相沉积一般可分为三种,真空蒸镀,溅射镀膜以及离子镀,它是现代表面工程一种重要且实用的先进技术。PVD技术是目前应用最广的同时也是最具价值的一类表面技术,涉及新材料、模具成形、制造、汽车零部件、注塑、控制等不同应用领域。从高精密加工装饰件、刀具、高要求机械零部件到不同种类的模具等都有不同的广泛用途。这是一种能够获得微米级涂层并且做到无污染的环保型表面的处理方法,同时在不影响关键原来的尺寸的情况下,PVD膜也可用来改善提高表面的外观,提高表面强度,增加耐磨性,最后还有很好的防腐蚀,导热,自润滑以及抗摩擦的能力。
然而,通过市场的调查,我们可以发现,真空涂层技术的发展并不是那么的平衡。因为刀具和模具在工作中,经常会处于一个相当恶劣的环境,它们对表面镀膜要求比装饰涂层高的太多。但是,装饰涂层的厂家已经遍布各地,发展的如火如荼,而能够生产工艺涂层的厂家却少之又少,更别提工艺质量上和售后服务的极度欠缺。现在,国内绝大多数的生产涂层设备的供应商,厂家,都无法提供包括涂前工艺技术、涂层工作工艺技术,涂后处理的工艺技术,检测涂层质量的技术,涂层刀具模具的实际应用技术等一系列完整的涂层工艺技术。况且涂层不但要求工艺技术人员,操作人员,文修人员等除了熟识精通专业的涂层技术以外,还能拥有扎实全面的材料知识、热处理知识、刀具磨具涂层前的表面预处理的知识、会正确合理的使用刀具磨具和上机操作的所有技术要求。这当中缺少任何一种技术或能力,都可能造成给产家带来使用效果差的结论。以上所说的这些问题,都严重的制约了该技术在刀具和模具上的发展。
从另一方面分析,其实该技术也涵盖了关于材料学、物理学、电学、化学等多门学科的内容和技术,但是国内缺乏技术全面的能生产刀具和模具的骨干厂家,大部分的厂家都是从国外引进先进的设备和操作规范的整条生产线,缺乏自主创新的能力。所以亟需大力发展该领域覆盖的技术,不能靠别人的东西来拖缓发展的脚步,只能奋起直追,所以设计这方面的内容变得尤为重要。
1.2 PVD涂层设备的组成
现代涂层设备主要由九个方面组成:
一、真空室,一般包括腔体主体、法兰适配器、传动轴、主轴气孔、及视口装置单元等。
二、真空获得部分,该部分是重要组成部分,但是目前还没有一种泵能从大气压工作到接近超真空的环境,所以要想获取真空,不能使单独的真空设备或者方法,必须联合几个泵共同使用,例如机械泵,分子泵系统等。
三、真空测量部分,类似于真空泵,该部分也无法采用一种真空计测量整个真空范围,只能采取多种种类的真空计。
四、电源供给部分,该部分部分内容将是本课题研究的方面,及电机选取,减速器设计等。
五、工艺气体输入系统。
751、机械传动部分,该部分为本次设计的中心重点部分,由于刀具涂层要求周边的涂层厚度均匀一致,所以在涂层过程中必须满足三个转动量才能符合要求。即在主工件台转动时,小的工件承载台也转动,并且带动工件本身同时自转。为了满足这个要求,本次设计将在大工件台转盘底部设计一个大的主动齿轮,并在周围设计一些小的行星齿轮与主齿轮啮合,再设计拨叉拨动工件自转,从而完成本次设计预定目标。
七、加热及测温部分。
八、离子蒸发及溅射源。
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