从1880年居里兄弟(PierreCure,雅克固化)发现了石英晶体的压电效应压电效应开始至今,历史120年。只有在第二次世界大战期间,由于军方的需要,在理论和应用研究有一个快速的发展。后来逐渐形成压电测试技术学科,但它仅用于动态信号检测。只有当高阻抗电荷放大器只出现压电测试了新的突破后,解决充电泄漏问题,使频率覆盖范围空前扩大的衡量参数,从静态到动态,从低频到高频的应用。由于现代物理学的压电效应理论,晶体物理学,电介质物理,实验物理学和材料的实际需要科学和工程的发展从宏观到微观开始,从一个到几个方面的影响引起的效应从线偏振的非线性极化的发展方向。然而,理论研究的最新进展仍比较缓慢,不能完全满足现代工程的实际需求。压电微观机理,相似,传感器和致动器上的理论和实际问题的机电耦合和解耦,机电耦合并与信息集成一体的电磁耦合结构,因此解决了。
目前,切割力的测量系统的研究还方兴未艾,大量的研究成果表明,在切割每个状态的微小变化可通过在切削力,切削力检测的变化被反映是使用最广泛的之一,该方法监测国内外。该方法具有力信号比较容易收集,响应速度快,灵敏度高,便于在线实时测量等。使用时或多或少改变机器的原装配件,影响机器的整体性能,尤其是在高精密数控机床有较大影响的缺点是测功机。现代高速加工是重切削,精密超精密加工方向,机器会比系统的振动频率的固有频率高得多。虽然研究已在现代科学,晶体的物理,彻底和完整的讨论的压电系统的多个压电效应,但理论和压电效应应用尚未结束。根据对国内外同行以往的研究,根据项目的实际需求,在理论上压电效应,主要探讨在以下几个方面:
1.压电石英晶体切向灵敏度分布规律研究
现行压电方程中给出的电荷灵敏度系数或压电应变系数几乎都是理想的常数,与实测值相差较大。为了掌握灵敏度和压电系数随载荷等外部条件的变化规律,提高多向压电力传感器的晶体组装精度,减少相间横向干扰等,在自行研制的晶体灵敏度实验装置上,对常用的典型石英切型的灵敏度分布规律进行实验研究。结果是切向载荷对 X00 切型晶片的影响不大。而对 Y00 切型晶片的影响却很大。
2.石英晶体扭转效应的探索研究
到目前为止,对压电效应的类型,从分压力的角度研究:人像效果,水平效应(由于正常压力)和剪切作用;从构件的变形的透视分为:拉伸和压缩作用,弯曲的效果,缺额相反的效果现在测量扭转转矩传感器没有直接应用到扭转的影响,石英剪切效应结合臂制成的原理几乎所有应用,需要更多的切线晶圆,以提高灵敏度还需要更多的大臂。这种传感器实际上是由多个复杂的敏感元件的。工艺复杂,成本高,难以传感器的小型化和集成。因此,反向压电效应的影响的研究从二文扩展到三文,线性偏振从非线性偏振扩大。研发和反向传感器单体的理论基础。
此切割力测量系统提出了这些要求的新的要求,切割力测量技术将被移动,新的弹性元件的开发和优化结构;专用集成电路和微电子技术,数据采集系统集成,提高数据采集的速度和精度;提高数据处理和分析软件的功能,虚拟仪器技术进入切削力测试系统;专家系统三大方向。在未来的信息产业的众多领域,工业自动化,纳米技术,MEMS技术,智能压电晶体的压电材料(机电耦合)技术被认为是最有前途的技术之一。由此可以得出结论,研究和压电理论和应用技术的发展将进入一个新的发展时期。
1.4切削测力仪
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