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其中，k为波数，d为PZT移动量。
PZT移相法精度达到0.01um，完全满足了移相的精度要求。该方法操作方便，但由于PZT具有非线性，因此使用前需进行标定。
（2）偏振移相法
如图2.1所示，设两束准直好的光波
（2.2)
他们的偏振方向互相垂直。1/4波片的快轴与x轴夹角为π/4，经过偏振片P的光的偏振方向与x轴成θ角。设经过1/4波片前光场的琼斯向量为 ，1/4波片和偏振片的琼斯向量分别为 ， ，则偏振后光波的光强分布可表示为
（2.3)
选择偏振片P，改变θ角，就可使相位发生改变。
图2.1偏振移相示意图
偏振移相是目前干涉测量中用的较多的一种方法。该方法移相精确度高，尤其适合使用在共光路干涉中。但使用该方法难以制作大口径的偏振元件
（3）波长移相干涉的原理[20]源:自~751·论`文'网·www.751com.cn/
如图2.2，参考反射镜和测量表面之间的光程差用h（x，y）表示，干涉信号强度如下所示：
（2.4）
其中， 的是背景， 是模数， ，k =0，1，2...N-1，是第k个波长移相。从上面的公式中可以看出，移相是通过波长调谐来实现的。