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    表1:椭偏仪测量SiO2薄膜实验数据1
    入射角θ/°    A/°    P/°    Ψ/°    Δ/°    n21
    50    43.45    152.37    46.55    145.26    1.438
    55    42.90    159.86    47.08    130.28    1.465
    60    42.17    166.41    47.83    117.18    1.455
    62    43.42    170.09    46.58    109.82    1.455
    64    43.18    173.71    46.82    102.58    1.459
    66    42.98    177.32    47.02    95.35    1.460
    68    42.81    1.88    47.19    86.24    1.475
    69    41.39    5.03    48.61    79.95    1.498
    70    43.26    8.08    46.74    73.84    1.519
                        
    71    44.98    10.35    45.02    69.31    1.530
    72    45.77    12.30    44.23    65.39    1.534
    73    46.29    13.44    43.71    63.11    1.518
    74    46.34    15.86    43.66    58.28    1.533
    75    47.41    17.77    42.59    54.47    1.539
    76    47.65    20.01    42.35    49.98    1.554
    77    46.53    21.43    43.47    47.14    1.537
    78    46.68    23.39    43.32    43.22    1.542
    80    46.99    27.60    43.01    34.79    1.571

    所测的折射率与入射角度的关系如下图:
    表2:椭偏仪测量SiO2薄膜实验数据2
    入射角θ/°    A/°    P/°    Ψ/°    Δ/°    n22
                        50    42.60    152.21    47.40    145.58    1.445
                        
    55    42.81    158.76    47.19    132.48    1.448
    60    42.43    165.9    47.57    118.21    1.446
    62    41.36    172.58    48.64    104.84    1.501
    64                    1.501
        43.73    176.31    46.27    97.39    
    66    45.00    0.67    45.00    88.67    1.516
    68    45.45    4.00    44.55    82.00    1.512
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