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摘 要：同步移相干涉术以其天生较强的抗振特性，成为很多高端光学干涉测试设备的首选技术。针对美国4D公司的PhaseCam_6000干涉仪采用的单CCD，瞬时相移，高速光学相位传感器技术，提出了一种利用多个CCD同步分别提取几幅干涉图的解决方案，提高干涉相位图的空间分辨率。提出了一种基于OPA692视频放大器的同步信号驱动和分发电路，设计了一种以视频同步信号发生器CXD1217Q为核心的同步信号发生和外协同电路。55191
毕业论文关键词：干涉测量；同步移相；抗振；多CCD同步协同
Abstract：Simultaneous phase-shifting interferometry is always considered firstly to be the basic technology of high quality optic-testing system ,as it is born with competency of anti- vibration. PhaseCam_6000, the product of 4D company in the USA, is made with Single camera, high-speed optical phase sensor to isolation vibration. So that, a program is brought up that several CCD cameras of the same characteristics are ultilized to pick up the different spacial interferograms synchronously, so that the spacial resolution of the interferogram can be improved effectively. A circuit of the drive and distribution of sync-signals is presented by using the video operation amplifier OPA692. Meanwhile, a central circurt of sync-signals generation and signal-cooperation is designed by the video sync-signal generator CXD1217Q as the main IC.
Keywords: interferometry; simultaneous-phase-shifting; anti-vibration; multi-CCD-synergy
目录
1. 绪论 1
2. 同步移相干涉原理 1
2.1 干涉条件及其实现 1
2.2 移相干涉 3
2.3 基于棱镜分光、 波片移相的同步移相干涉测量 5
3. CCD图像传感器原理 8
3.1 电荷存储 8
3.2 电荷耦合 9
3.3 CCD的特性参数 10
4. 系统设计 11
4.1 硬件电路实现 12
4.2 同步信号发生、外同步协同电路 12
4.3 同步信号驱动与分发电路 14
总结 15
参考文献 16
致谢 17
1. 绪论
光学测试技术中的干涉术（特别是移相干涉）及相关的干涉仪在现代工业测试领域发挥着举足轻重的作用。光学测试精度的发展更是象征着工业生产水平的进步。特别是近几十年来，由于将光学性能优越的激光技术、各类先进的光电子器件、数字信号处理技术以及电子计算机技术的引入，使得光学测试技术以工作波长为尺度的测量发展到一个前所未有的高度与水平，比如相关设备的测试灵敏度、准确度、重复性都获得了质的飞越[1-3]。目前，光学测试技术（特别是代表高端技术的基于移相干涉的干涉仪）被应用于工业产品加工、检测、计量校准、国防等广泛的领域。