超高压力传感器种类繁多,按工作原理分可分成一级标准传感器和二级标准传感器两大类。一级标准是基于 或 的传感器,如各类活塞-圆筒装置,其最大量程可以分别达到1GPa和8GPa。二级是建立在各累物理性质和压力关系上的。如场效应晶体管共振频率变化( )、半导体器件的高压齐纳击穿( )、水银的高压溶解曲线( )、隧道二极管的高压隧道电流( )、材料的高压相变(Bi ,Ba ,Ti ,Bi )、波登管( )、光纤、高压X射线衍射( )、高压红宝石荧光光谱( )等 。21391
1超高压光纤压力传感器
由西安电子科技大学物理系的詹玉书、王颖平、曾小东、黄永年等人研制出了一种新型超高压光纤压力传感器,可以测量超过500MPa及以上的高压,其保持了普通膜片反射式光纤传感器的优点,如体积小,抗电磁干扰等。膜片反射式光纤传感器系统主要由光源、传感器、光纤定向耦合器和探测器组成。通过使检测到的膜片反射光强发生变化,光电检测器输出光电流发生变化,来检测光电流大小,进而检测出压强。 论文网
2超高压锰铜电阻压力计
自1903年人们发现锰铜合金的压租效应以来,锰铜在高压测量中得到广泛应用。目前,锰铜传感器按结构分可分为三类:薄膜式锰铜计(利用薄膜工艺沉积)、箔式锰铜计(用锰铜合金箔制成)、丝式锰铜计(用锰铜丝绕制)。
薄膜式锰铜计:东京都市大学(武藏工业大学)的Mihara等人 制备的锰铜薄膜传感器大量用于测量内燃机机轴上油膜压力。法国原子能总署里迈尔研究中心 研制的一种薄膜式锰铜传感器主要用于测试高速碰撞时的冲击波压力。中国工程物理研究院一所 研制的锰铜压力计和法国有类似结构。箔式锰铜计:采用树脂粘接工艺,经过树脂改良,通过PTFE热压封装来制成。丝式锰铜计:1903年,瑞典人Lisell 首次建议采用金属丝阻值变化作为压力测量手段,经过试验发现在400MPa压力以下,锰铜电阻所受压力之间存在本质的线性关系。1912年,Bridgman 设计出测量压力高达2GPa的压力计。
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