首先,从测量器具上来说,对长平晶的检测所采用的主要方式是利用等倾或者等厚干涉仪根据规程要求,对其进行检定。在这些仪器中,有相当一部分还是利用目视读数的干涉仪,其精度和准确性都无法得到保证。从90年代后,新型的数字式移相干涉仪开始得到广泛的应用,是目前国内和国际普遍采用的测量器具。60386
其次,从检定方法来说,在传统光学检测中,大口径光学元件加工质量的检测一般需要使用大口径干涉仪,这就要求要有一块与被检测元件尺寸相同或者更大的标准元件。对310mm长平晶而言,就需要一块直径比310mm还大的标准元件。而这样一个高精度的标准元件不仅加工难度极大论文网,制造成本高,同时对检测环境的要求也很高,这些都无形地增加了检测的成本和难度[4]。如果采用子孔径拼接测试技术,在相对的小口径干涉仪上检测长平晶的部分区域,待孔径测量之后,再使用适当的算法“拼接”得到全孔径面型信息,具有更高的效率和更低的成本,便于实际应用。
本课题的意义在于,通过设计一种长平晶检定系统,使其既能满足现行国家标准对长平晶的检定要求,又能够通过现有技术,提高长平晶的检定精度,并能够将检定结果方便、直接地进行显示。
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