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3.5 精度/μm 13
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最大镜面反射角/° ±1.5 点直径/μm 100
图 2.6 传感器外形尺寸图 图 2.7 传感器控制软件图
2.3.3 实验台硬件
实验台所用电动平移台如图 2.8 所示，型号为 CHF002P200，标配步进电机和 RE232 接 口，采用进口高精密滚珠螺杆驱动，重复定位精度和绝对定位精度好，轴向间隙小。具有防 松和防窜结构，两端装有限位开关，能有效保护产品。它的底板和合理的导轨固定方式大大 的降低了平移台的俯仰和偏摆，使运动的直线度和平行度有较大提高，可满足实验的要求。 表 2.2 为电动平移台部分参数指标。