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3.2.2 选取主泵
油扩散泵是用来获得高真空或超高真空的重要设备，因此主泵选取油扩散泵较为合适。其主要特征尺寸为泵直径入口，当入口直径确定之后，其他连接尺寸和主要性能参数都有标准规定，在《真空设计手册》上均可查到。
根据要求，泵的有效抽速为6900升/秒，考虑到加上阀门、障板后泵的抽速损失（一般泵的有效抽速是泵的抽速的三分之一左右），暂选抽速为20000升/秒的扩散泵来进行试算。由表3.1可见，选K-800型扩散泵可满足要求。泵的进气口直径为800毫米，排气口直径为200毫米。
表3.1 K系列高真空油扩散泵主要技术性能
项目 型号 K-50 K -80 K -100 K -150 K -200 K -300 K -400 K -600 K -800 K -1200
极限真空度[托] 1×10-6 5×10-7 5×10-7 5×10-7 5×10-7 5×10-7 5×10-7 5×10-7 5×10-7 5×10-7
抽气速率
[升/秒] 75 180 300 800 1200~
1600 3000 5000~
6000 11000~
13000 20000~
22000 40000~
50000
最大排气压强
[托] 0.1~0.2 0.2 0.2~0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3
进气口直径
[毫米] 50 80 100 150 200 300 400 600 800 1200
排气口直径
[毫米] 15 25 32 50 65 80 100 150 200 300
3.2.3 验证K-800型扩散泵
为了防止油进入真空室中，扩散泵与真空室之间安装人字型障板，并配上一个高真空挡板阀。总流导由高真空管道的流导、阀门的流导及障板的流导串联得到。
确定气体沿管道的流动状态。真空室工作压强Pg为1×10-5托时，扩散泵入口压强很低，故管路出口压强可以忽略，管路中的平均压强P = 1/2Pg = 5×10-6托，此时Pd = 5×10-6托×80厘米 = 4×10-4托•厘米＜0.015托•厘米。可见为分子流。真空室材料为不锈钢真空室的工作压强P = 1×10-5托；真空室工艺过程中放出的气体量Q1 = 1×10-2托•升/秒；系统的总漏气量Q2 = 5×10-3托•升/秒
真空室表面出气量Q3 = 1.7×10-7托•升/秒•厘米2×250000厘米2 = 4.25×10-2托•升/秒（暂选不锈钢1小时后的出气量）被抽气体为20℃干燥空气。
真空管道的流导：
[升/秒] （3-2）
式中，A——管路元件入口孔的面积 [厘米2]；
α——流导几率。查图3.1，得α= 0.75。
图3.1 流导几率α
根据式3-2，计算出高真空管道的流导U1 ≈ 43700升/秒。
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