（3）多次反射造成误差。在椭偏仪中，光束是沿着单一的光路，从光源到达光电检测器，光束与光路中的元件表面垂直，因此，元件只之间的多次反射引起的自准直光束，也会射到检测器上造成。由于制作椭圆偏振仪元件的材料（玻璃、方解石、石英）其表面垂直入射的反射率很小（约4%），所以最强的杂散光强度也是主光束强度的一个很小分数。反射误差可以通过在光学元件上镀减反膜进行减小或避免。
（4）实验环境的扰动造成的误差。众所周知，光学实验对实验环境反应灵敏，有时候周围环境的小小干扰会造成实验结果的巨大波动。在我们实验的过程中，难免会遇到周围环境的噪声等不利因素的干扰，造成实验结果偏差。 薄膜折射率的测量研究+文献综述(12):http://www.751com.cn/wuli/lunwen_2404.html