表1：椭偏仪测量SiO2薄膜实验数据1
入射角θ/°    A/°    P/°    Ψ/°    Δ/°    n21
50    43.45    152.37    46.55    145.26    1.438
55    42.90    159.86    47.08    130.28    1.465
60    42.17    166.41    47.83    117.18    1.455
62    43.42    170.09    46.58    109.82    1.455
64    43.18    173.71    46.82    102.58    1.459
66    42.98    177.32    47.02    95.35    1.460
68    42.81    1.88    47.19    86.24    1.475
69    41.39    5.03    48.61    79.95    1.498
70    43.26    8.08    46.74    73.84    1.519
                    
71    44.98    10.35    45.02    69.31    1.530
72    45.77    12.30    44.23    65.39    1.534
73    46.29    13.44    43.71    63.11    1.518
74    46.34    15.86    43.66    58.28    1.533
75    47.41    17.77    42.59    54.47    1.539
76    47.65    20.01    42.35    49.98    1.554
77    46.53    21.43    43.47    47.14    1.537
78    46.68    23.39    43.32    43.22    1.542
80    46.99    27.60    43.01    34.79    1.571

所测的折射率与入射角度的关系如下图：
表2：椭偏仪测量SiO2薄膜实验数据2
入射角θ/°    A/°    P/°    Ψ/°    Δ/°    n22
                    50    42.60    152.21    47.40    145.58    1.445
                    
55    42.81    158.76    47.19    132.48    1.448
60    42.43    165.9    47.57    118.21    1.446
62    41.36    172.58    48.64    104.84    1.501
64                    1.501
    43.73    176.31    46.27    97.39    
66    45.00    0.67    45.00    88.67    1.516
68    45.45    4.00    44.55    82.00    1.512 薄膜折射率的测量研究+文献综述(9):http://www.751com.cn/wuli/lunwen_2404.html