2.1.1 磁控溅射装置
本实验所用的装置如图2.1所示,是沈阳科有真空技术研究所制造。该设备的极限真空度优于510-4 Pa,其预抽真空度为1 Pa~10 Pa,它的前级泵为8L·s-1的旋片式机械泵,二级泵是1200 L·s-1的复合型分子泵。
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