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摘要随着科技与生产的发展，精密制造技术发生巨大的变化，出现微小零器件，其几何特征尺寸大多集中于微米级，这就要求平台的定位精度越来越高，要求达到微米级，精密光学平台是一种工作平面,广泛应用于光学测试等工程领域。可以说，若没有精密工作台将无法开展对微小元件定位检测的研究，因此，必须对平台进行高精度定位控制，本文就此设计了一套完善的精密光学平台控制系统。25724
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该控制系统采用超声电机作为平台的驱动部分，使用光栅位移传感器对平台的位置进行实时测量。首先，针对定位平台的硬件进行设计，通过比较各类硬件的优缺点，选择适合此测试系统的硬件，并对部分器件进行安装；然后采用LabVIEW编程语言为该系统编写不同控制算法的控制程序，软件主要用来采集平台的坐标位置及控制电机的旋转，含有人机交互、测试、数据处理与显示等一系列内容；最后比较系统使用无算法、位置式PID、积分式PID、神经网络式PID算法来控制的响应曲线，根据响应时间及控制精度选择控制效果最好的算法作为最终控制方法，针对各种控制算法的控制结果进行分析，分析不同算法出现误差的原因，找出减小误差、提高控制精度的办法。
经验证，本系统很好的完成设计的各项指标，能够满足实际需要，可对平台位置进行快速、稳定的控制且控制精度高，操作方便。
关键词 超声电机 定位平台 控制算法 LabVIEW 稳定时间 误差评定
毕业论文设计说明书外文摘要
Title Design and Control of precision optical platform
Abstract
The optical platform is a work platform, it uses its own natural frequency vibration isolation effect and other characteristics can effectively avoid the resonance generated by the environment.It can also eliminate the vibration from the machining precision.It widely used in optical testing, laser scanning ,laser interferometry and optical manufacturing.
With the development of technology and production, it has become increasingly demanding of the accuracy of platform which required to achieve micron level. Therefore, we design a perfect control system of the precision optical platform.
The control system uses ultrasonic motor as the power of the platform, using grating displacement sensor for real-time measurement. First, select the appropriate hardware and install a part of the device for this test system, and then, using LabVIEW to write different control algorithms for system.Software is mainly used to collect the position and control the rotation of the motor,It contains interactive content, test, data processing, display and other contents;finally, the system use different algorithm to control the platform,such as non-algorithm, the position PID, integral PID, neural network PID algorithm .Choosing the best algorithm as the final control method for the system.
Keywords USM Optical Table Control algorithm LabVIEW Settling Time Error Evaluation
目 录 5
1 绪论 8
1.1 课题研究的背景及意义 8
1.2 国内外定位平台技术研究现状 9
1.3 本课题研究意义及主要研究内容 11
1.3.1 研究意义 11
1.3.2 主要研究内容 12
2 定位平台总体方案设计 13
2.1 运动控制系统设计方案 13
2.2运动控制系统硬件平台 14
2.2.1二文运动平台 15
2.2.2电机的选择 16
2.2.3驱动器的设计 18
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