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摘要等离子体由于其独特的性质，引发了人们的极大兴趣和关注，对等离子体技术的研究日益深入。其中，尘埃微粒和等离子体的相互作用广泛存在于实验室和多种生产领域的工业应用中。近年来，随着新一代高密度集成电路工业及薄膜沉积技术的发展，为了处理尘埃微粒造成的质量影响问题，人们开始对在等离子加工中尘埃颗粒的形成及其行为进行广泛的研究。文章总结了尘埃微粒在等离子体中的分布、输运、粒子的荷电性质、与等离子体的相互作用、以及含微粒的等离子体对电磁波的传输的影响等方面的研究及其进展。22883
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关键词 等离子体 尘埃等离子体 尘埃微粒
毕业设计说明书（毕业论文）外文摘要
Title The research developments about dust in plasma
Abstract
Plasma has caught much interest and attention because of its unique properties and the research on plasma is moving forward day by day.Among them,the reciprocity of dust and plasma widely exists in the laboratorys and a variety of industrial applications in the field of production.In recent years,as the development of a new generation of high density integrated circuit industry and the thin-film deposition technology thin-film deposition technology,People has been doing extensive researches on dust in plasma process.This article summarizes the distribution of dust ,transmission properties,the properties of dust charge,electromagnetic transmission in dusty plasma.
Keywords plasma dusty plasma dust
目 次
1 引言 2
1.1 尘埃等离子体的简介 2
1.2 尘埃等离子体的分布 2
1.3 尘埃等离子体的研究起源 2
1.4 本文的研究内容 3
2 等离子体中尘埃微粒的基本特性 4
2.1 电荷量 4
2.2 可变性 4
2.3 运动特性 4
3 静电探针测量技术 6
3.1 静电探针的原理和特点 6
3.2 静电探针的应用和发展 7
4 尘埃微粒的分布及输运特性 9
4.1 尘埃微粒的受力与运动特性 9
4.2 尘埃微粒的分布情况 11
4.3 尘埃微粒分布对等离子体性质的影响 12
5 尘埃微粒的带电特性 15
5.1 尘埃微粒电荷的测定 15
5.2 尘埃微粒电荷分布 16
5.3 尘埃微粒电荷对等离子体性质的影响 19
6 尘埃等离子体的电导率研究 21
结论 24
致谢 25
参考文献26
1 引言
对等离子体的研究日益深入，为半导体集成电路生产、太阳能材料、计算机自动控制与数据采集处理、环境空间等科学的进一步发展提供了新的技术和工艺，其成果广泛应用于生产生活中的各个方面。然而很多情况下，等离子体中除了电子、离子以及中性气体以外，常常还包含有很多大小不等的带电(大多数情况下为负电)尘埃微粒。这一特性使得含尘埃微粒的等离子体呈现出许多新的物理现象，涉及到材料科学、空间物理、基本等离子体物理等诸多领域。出于工业上对相关科学技术的需要，近年很多科学家都进行了这方面的研究和探索，相关研究受到越来越多的重视，尘埃等离子体物理已成为等离子体物理学科中一个重要的分支领域。
1．1 尘埃等离子体的简介
等离子体是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质，而在太空环境和实验室中，等离子体常常包含各种带电尘埃微粒，它们通常带负电荷，并且会发生复杂的相互作用，使等离子体产生一些特殊的性质。这种含有带电尘埃微粒的等离子体，被称为尘埃等离子体。通常尘埃微粒的质量大约在10-2 ~ 10-15g之间，携带的电荷量大约在102 ~ 106e之间[1]，而它们的尺寸也不尽相同，从纳米量级到微米量级都有，这种大的尺寸范围，使得尘埃等离子体问题的研究非常复杂。