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摘 要：随着科技的发展，人们渴望对物质有更深的认识，希望得到物质内部的微观结构，在这样的情况下，就促进了X射线衍射（X-ray Diffraction简称XRD）技术和X射线吸收精细结构谱（X-ray Absorption Fine Structure简称XAFS）技术的快速发展。本文首先制备不同浓度的Mn摻杂SiC薄膜，然后再用X射线衍射，得到X射线衍射图谱，分析衍射图谱得出Mn掺杂SiC薄膜内部结构的一些性质。随后用XAFS技术对Mn摻杂SiC薄膜精细结构进行进一步的分析，确定Mn掺杂到SiC薄膜内的存在形式，加深对Mn摻杂SiC薄膜结构了解。29914
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毕业论文关键词：精细结构；X射线衍射；XRD技术；XAFS技术
Error Analysis of The Crystal Structure of Matter in The Determination of XRD And XAFS Techniques
Abstract: With the development of technology, people's desire for a deeper understanding of the material, hoping to get inside the microstructure of the material, in this case, on the promotion of the X-ray diffraction (X-ray Diffraction referred XRD) and X-ray absorption fine structure spectrum (X-ray Absorption Fine Structure referred XAFS) rapid development of technology. This paper was prepared Mn-doped with different concentrations of SiC film, and then use the X-ray diffraction to obtain X-ray diffraction pattern, diffraction pattern analysis to draw some properties of Mn-doped SiC film internal structure. Followed by XAFS techniques for Mn-doped SiC film of fine structure for further analysis to determine the presence of Mn-doped SiC film form within deepen film structure of Mn-doped SiC understanding.
Key Words: Fine structure; X-ray diffraction; XRD technology; XAFS technology
目 录
摘要 1
引言 1
1.XRD技术 2
1.1XRD技术简介 2
1.2Mn参杂SiC薄膜的厚度 2
1.3Mn掺杂SiC薄膜的晶体结构 3
2. XAFS技术 4
2.1XAFS技术简介 4
2.2XAFS现象 4
2.3用XAFS技术分析摻杂薄膜结构 5
2.4Mn的K边XAFS分析 5
2.5Mn的K边EXAFS分析 6
3.总结 7
参考文献 8
致谢 9
XRD和XAFS技术在测定晶体物质结构的误差分析研究 引言
X 射线( X-ray) 又称伦琴射线。在1895年德国物理学家伦琴发现了它。X射线产生的原理：原子的电子在不同的能级上，由于受到激发而跃迁，从而产生电子流形成X射线。X射线的波长很短，介于紫外线和γ射线之间，大约在0.01-100埃之间。X射线是一种电磁波，并且看不到，具有较高的辐射性和穿透性，能穿透很多薄的、不透明的物体。人们起先利用这个特性做医学成像和别的一些科学研究。用X射线照射某些物质，还可以使它们产生一些特殊的的现象，比如可以产生可见的荧光。伦琴射线根据波长的长短可以分为硬X射线和软X射线两种。波长短（波长小于0.1埃）、能量大的被叫做硬X射线；波长长（波长在0.1-100埃之间），能量小的被叫做软X射线。由于伦琴射线有许多特殊的性质，促进了科学家对其研究的热情，随着研究的不断深入，科学家利用伦琴射线较强的穿透能力对晶体进行X射线衍射实验，可以很清楚的了解到晶体内部的结构，使人们对晶体内部的结构有了更清晰的了解，并且为人们研究晶体提供了一个新的实验方法。随着对伦琴射线的衍射图谱进一步研究发现，在特定的能量点，X射线的的吸收系数会急剧的增加，这个点被人们叫做吸收边，在吸收边之后，X射线衍射图谱出现了一系列的微小振动，一般大约为吸收截面的百分之几，这个特征就是XAFS，叫做X射线吸收精细结构。