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1.XRD技术
1.1XRD技术简介
世界是物质的世界，而任何物质的基本结构都是由原子、分子或离子所组成。不同的组成成分形成不同的物质，相同的组成成分按照不同的排列方式也能组成不同的物质。晶体是有严格的排列规则的，组成元素具有较强的周期性、排列性和三文结构而不同于非晶物质。由于晶体内部的元素排列是固定的，形成了特定的晶格，所以能使电子流，中子流和伦琴射线产生衍射，从而产生了三种研究晶体结构的试验方法，其中X射线衍射法是最重要的。X射线通过晶体时能发生衍射现象是由德国物理学家劳厄在1912年发现的，为了奖励他的发现，1914年的诺贝尔物理学奖授予给了他。从此人们认识到了XRD技术的重要性，运用XRD技术进行了一系列的实验。比如，在劳厄实验的基础上，布拉格父子用X射线照射金刚石晶体，成功地测出了金刚石晶体的结构[2]，并且得出了一个很简单的X射线衍射方程式即 “布拉格公式”，布拉格公式为：nλ=2dsinx，其中λ为入射波波长，d为平行原子平面的间距，x为入射光与晶面之间的夹角，并且布拉格定律成立的条件是波长小于等于2d，为现代晶体学的建立打下了坚实的基础。
1.2Mn掺杂SiC薄膜的厚度
从下面的截面图中可以知道，Y的数值是0.419um，即薄膜的厚度为0.419um,大约等于420nm。由我们的实验条件：机器的溅射功率为150W，制备的时长是40分钟，这样我们就得到了，5at% SiC薄膜的形成速率为630nm/h。用同样的实验条件和实验步骤可以制成不同掺杂浓度的SiC薄膜。