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2. CrN基纳米复合涂层在刀具上的应用试验设计
2.1 实验原理
刀具涂层技术是指在硬质合金的表面,利用气相沉积的方法涂覆一层或多层难熔金属或非金属化合物,使合金的综合性能(如硬度、耐磨损性和抗氧化性等)得到提高。刀具的综合性能提升上去了,其工作效率和使用寿命也得到提高,可以节约大量工作时间。本设计采用PVD技术中的磁控溅射镀膜法,在镀膜过程中使工作气体Ar发生电离,利用电离出来的氩原子在电场的作用下轰击靶材,使靶材原子逃逸靶材表面,在交变电磁场的作用下,远离靶材,沉积在基体表面,最终形成薄膜。这种涂层虽然厚度只有几个微米,但是刀具的整体性能会得到大幅度提高。
2.2 实验方法
CrN薄膜由JCP-350高真空多靶磁控溅射镀膜机进行制备。实验中,在镀膜机的3个阴极弧源上安装纯度为99.9%的Cr靶作为镀膜材料,实验选用规格为15mm
10mm 20mm的不锈钢做为基体,工作气体是纯度为99.9%的Ar,反应气体是纯度为99.9%N2。
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