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    5  Matlab仿真与相关程序设计 27

    5.1 Matlab遗传算法工具箱 27

    5.2  Matlab仿真及程序设计 30

    5.2.1  程序设计 30

    5.2.2  结果分析 32

    6  待解决的问题 35

    结  论 36

    致  谢 37

    参考文献 38

    1  引言

    1.1  概述

    1.1.1  衍射光学元件(DOE)的发展背景

    传统的光学元件在成像系统设计时,大多采用折反射原理,为了消除像差和提高成像质量,传统的光学系统往往体积庞大且笨重,与光机电集成一体化的趋势极其不符,而衍射光学元件具有体积小,成本低,衍射效率高等显著优点,因此,从上世纪80年代至今,衍射光学元件的发展突飞猛进,在当初更是被誉为“90年代的光学”,成为光学发展史上的一次技术革新[1,2]。

    所谓的衍射光学元件,一般认为,是“基于光的衍射理论,利用计算辅助设计和超大规模集成电路制作工艺,在片基上刻蚀产生两个或多个台阶深度的浮雕结构、形成纯相位、同轴再现、具有极高衍射效率的一类光学元件”。本质上,衍射光学元件是一种对光场进行位相调制,在输出面由于衍射而得到所需光场分布的元件,故也叫位相型全息光学元件。在元件的制作上,由于制作需要,必须对其位相进行量化,因此也叫做二元光学元件(BOE)[3]。文献综述

    20世纪80年代中期,二元光学的概念由MIT的林肯实验室首先提出。伴随着微细加工和计算机辅助技术的发展,同时也为了使衍射光学元件获得更高的衍射效率,衍射光学元件由两台阶浮雕结构发展为多台阶浮雕结构,直到现在近似连续分布,期间,总共经历了大概三个阶段[4]:

    第一阶段:衍射光学元件的发展主要用于提高传统光学元件的性能,并实现普通光学元件无法实现的光学功能。其中通常是在球面折射透镜的一个面上蚀刻图案,通过折衍复合消色差,以及在较宽波带处消色差。这类元件由于突破了传统光学元件的限制,有着很高的应用性,例如光聚焦校正,光束整形等。

    第二阶段:衍射光学元件向着微型化、阵列化的方向发展。其契机主要是由于微光学与微电子的迅猛发展,在这个阶段,衍射光学元件的尺寸由微米量级到毫米量级,其组成的微透镜阵列具有很高的衍射效率。而且,当蚀刻深度超过一定波长数时,阵列可以表现出折射器件的特性。同时,阵列结构灵活,可以实现多种功能,用于光通信,光信息处理等领域。

    第三阶段:目前衍射光学元件的发展集中在三维微光学,使其在在成像复杂的光互联的中实现变化和控制。三维微光学可以将光的变换、探测和处理集成在一起,构成多功能的集成化光电处理器。衍射光学元件的发展是建立在衍射理论,微细加工和计算机辅助技术上的,其总体的发展趋势是未来微光学、微电子学和微机械的集成技术和高性能的集成系统。

    1.1.2  衍射光学元件的优点及应用论文网

    衍射光学元件,即二元光学元件,其优点主要有以下几点[5,6]:

    (1)衍射效率高

    二元衍射光学元件是一种纯相位光学元件,根据标量衍射理论,相位阶数为L=2N的衍射光学元件其衍射效率为η=sin(N/L)/(N/L),故2、4、8、16阶相位元件的衍射效率分别为40.5%,81%,95%,98.7%。可以看出,二元光学期间具有很高的衍射效率。

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