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摘要本论文主要研究了口径为25.4mm的小型斐索干涉仪的内部结构和调试方法，在干涉仪的实际操作中，有时得到的干涉条纹与理论上的条纹有一定的偏差，单看条纹的特征，只能得到一些简单的信息，由于缺少详细数据，要想进一步的分析干涉仪各组成部分对实验的影响成为了难题，针对这一问题，本文在简单的介绍了FRED光机模拟软件的基本原理、光机模拟软件与光学设计软件的差别以及初步掌握FRED软件建模的基本操作之后，用FRED软件对小型斐索干涉仪建模，并进行了仿真分析，得出斐索干涉仪通过模型能较好的对实际干涉仪面形检测进行仿真，解决了这一难题，为干涉仪的深入分析提供了技术支持。10571
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关键词 FRED 干涉仪 建模 仿真分析
毕业设计说明书（论文）外文摘要
Title Using FRED simulation analysis of interferometer
Abstract
This paper mainly studies the 25.4mm bore small Fizeau interferometer’s internal structure and debugging method, during the interferometer’s actual operation, sometimes the interference fringe has certain deviation compare with the stripes on the theory, looking at the fringe’s features, they are only some simple information, due to the lack of detailed data, further analysis about interferometer components affect of the experiment become a problem. To solve the problem, in this paper ,after simply introducing the basic principle of the FRED optical simulation software and what different between optical simulation software and optical design software ,I master the basic operation to use FRED software to build a model, then I use FRED software for building mini-type Fizeau interferometer model, and simulation and analysis are carried out, it turns out that a Fizeau interferometer through model can be used for actual interferometer for detecting surface shape simulation, provides the technical support for in-depth analysis of interferometer.
Keywords FRED interferometer model simulation analysis
目 次
1 绪论 1
1.1 课题背景 1
1.2 课题意义 1
1.3 本论文的主要内容 2
2 FRED的简介 3
2.1 FRED的工作原理 3
2.2 FRED的功能及应用 5
2.3 FRED与ZMAX的区别．7
3 斐索干涉仪简介 9
3.1 斐索干涉仪原理 9
3.2 干涉仪内部改进 10
3.3 干涉仪的调试 11
4 用FRED建模 14
4.1 建模步骤 14
4.2 建模中遇到的问题及解决方法 18
4.3 模型仿真结果分析21
4.4 模型分析法的优势与局限性．.24
结 论 26
致 谢 27
参 考 文 献 28
1 绪论
1.1 课题背景
为提高检测的精度干涉检测技术被越来越多的应用于检测领域。斐索干涉仪由于有共光路的特点被广泛采用于干涉检测中。自斐索在1862年提出并应用斐索干涉仪以来，斐索干涉仪已经有很大的发展。很多文献已经对斐索干涉仪的结构及其影响因素已进行了广泛的研究。Chunsheng Huang 与R.Jozwiciki对斐索干涉仪误差传递模型进行了分析[1-2]，A.E.Lowman等人建立了干涉仪零件检测的模型[3]，J.H.Bruning等人对干涉仪精度的因素进行了详细的分析[4-6]，Ping Zhou也对干涉仪测量过程中各种噪声对干涉仪的影响进行了详细的分析[7]。目前关于斐索干涉仪的通用模型建立及面形检测仿真方面有也少量的文献报道，但一般都是用ZEMAX光学设计软件进行的建模分析，暂时还没有找到用FRED建模仿真分析的文献，由于FRED在模拟效果上较ZEMAX更好，本文就利用FRED光机模拟设计软件建立了斐索干涉仪的简易模型，并对模型的仿真质量进行了分析。