表面微观形貌测量技术的研究现状和发展趋势(2)

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随着微观表面形貌测量技术的发展，其测量对象逐步由简单形状向复杂形状（如MEMS表面、二元光学元件等）发展，从单一材料的表面粗糙度测量到多种不同材料的组合表面测量发展，从小量程到大量程的测量发展，测量仪器从单一原理和数据处理手段到借助多种技术的复合测量发展。总之，更高的测量速度和精度、更高的自动化程度、更大的测量范围是表面形貌测量技术今后努力的方向。