由光源发出一个脉冲激光信号,然后由一个接收器读取反射信息,依靠计算脉冲
激光的反射时间来计算距离[15]
。不再是脉冲信号,而是连续的激光,而接收器所
读取的结果也变成了一组连续的数值,这样就可以在不移动测距仪的情况下,连续的扫描出一个平面内(即测距仪横向移动扫描出的平面)物体的连续距离数字,
返回的值就可以构筑出一个平面图。
二文激光位移传感器和一文激光位移传感器的都是通过光学三角法原理工
作的[17]
。不同的是二文用的是线激光,一文用的是点激光,基本上除了个别特殊
之外,一文激光位移传感器可以应用到的方面(例如火车轮轮缘轮廓测量、平整
度测量。也可用于非接触测量位移、三文尺寸、厚度、物体形变、振动、分拣及
玻璃表面测量等),二文激光位移传感器都可以满足,除了个别之外[16]
。
1.2.3 LJ-V7080超高速轮廓测量仪
1.LJ-V7080 的简介
LJ-V7080超高速轮廓测量仪, 在2D激光测量仪市场实现了超快的取样速度,
取样速度达 64000 个轮廓/秒 12800000 点/秒,测量范围为 Z 轴 80±23mm,X 轴
32mm,重复精度为 Z 轴 0.5um,X 轴 10um。作为 2D 激光位移传感器,LJ-V7080
在世界上率先采用蓝色激光,与传统的红色激光相比,蓝色激光的成像光束更精
细。生成稳定的高精度轮廓,使测量轮廓的精度更高[10]2.LJ-V7080 的应用
(1) 高度、倾斜度的测量,如晶片电容的高度、倾斜度测量。
(2) 透明体的测量,如玻璃密封材料的涂抹量测量。
(3) 宽度、位置、高度差的测量,如测量焊接坡口、焊缝形状。
(4) 3 D 形状测量,如测量锻造品的 3D 形状。 (图1.2)
(5) 通过形状测量进行反馈,如在机器人抓取前确认目标物的状态。
(6) 通过多个传感头进行变形测量,如测量钢板表面的起伏情况。(图1.3)
(7) 测量焊膏的施加量,测量线路板上焊膏的形状和施加量。当然也可用来
检查实际安装后的芯片[11]
。 (图1.4)
(8) 测量小型电子部件的变形,测量断断续续流出的 IC 针脚的细小变形。
也可高精度测量小型部件的微小变形[12]
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