3.2.1  薄膜体系制备    14
3.2.2  磁滞回线分析    14
3.3 不同Dy掺杂量对FeCo体系各向异性的研究    15
3.3.1  薄膜体系制备    15
3.3.2  能谱分析    15
3.3.3  磁滞回线分析    16
3.4  不同倾斜角度对各向异性的影响    17
3.4.1  薄膜体系制备    17
3.4.2  磁滞回线分析    17
结  论    20
致  谢    21
参考文献22
1  绪论
1.1  引言
磁性材料是指具有较强磁性的一种功能材料，“磁性”一词就起源于盛产磁石的Magnesia地区，传统概念的软磁材料是指硅钢片、软铁以及铁氧体等，但从上世纪中期开始，稀土永磁材料、非晶软磁材料和纳米晶软磁材料出现在了软磁材料的舞台上，具备优异的软磁性能。
自从研究人员在上个世纪90年代发现巨磁电阻效应(GMR)，磁性材料由此进入了向薄膜化全面发展的时期[1, 2]。磁性薄膜的研究也成为目前新型磁性材料研究中最活跃的领域之一。
随着各种磁性薄膜的发展，薄膜从单纯的金属磁性薄膜，发展到纳米晶薄膜、多层结构薄膜、颗粒膜、非晶薄膜等多种体系，蔚为大观。薄膜的制备的工艺也由传统的冶金工艺发展到了分子束外延生长、激光脉冲沉积镀膜、磁控溅射镀膜等等[3, 4]。利用磁性薄膜所具备的巨磁性伸缩、巨霍尔效应、巨磁阻抗、巨磁热效应、磁制冷等特点，还有磁—光、磁—电、磁—热、磁—力等交叉效应给将来的磁性薄膜的发展和研究开拓了新的领域[5-8]。磁性材料被广泛的应用于磁盘，磁带等大容量存储装置；通信电子器件、电机等电子装置中。磁性材料逐渐成为我们日常生活中不可或缺的一种材料。
随着信息技术的迅速变化和磁性材料行业的发展升级，中国的劳动力资源丰富的优势和国内巨大的市场，使磁性材料行业从不值一提成为世界顶级产业。但是，随着信息技术利用规模的扩大和电子产品数字化发展，人们磁性材料性能的要求变得更加严格，磁性材料要求具备高频率、小型化、贴片化、高磁性能、低损耗和抗电磁干扰等性能，磁应用技术已经迈进了软磁金属薄膜微波器件的新纪元[9-14]。
1.2  磁各向异性分类
1.2.1  磁晶各向异性
对于单晶体的铁磁物质而言,它的磁各向异性与材料的晶体结构相关,这种磁各向异性就叫做磁晶各向异性(magnetocrystalline anisotropy)，与此相关的能量即为磁晶各向异性能(magnetocrystauine anisotropy energy) [15]。电子的磁矩、电子的自旋，电子轨道之间的耦合以及近邻原子中电子轨道之间的相互作用导致了晶体中产生原子磁矩。并且，这些作用会因为晶格取向的不同而发生变化,这就是磁晶各向异性产生的原因。在一个单晶体中,由于磁晶各向异性,磁化强度会随磁场的变化而有所差别。
传统上通过选择合适的成分制备合金，并用适当的处理(例如磁场退火)是最常见的改变磁晶各向异性方法，早已知道在合金中有不同的原子对，这些原子对排列的改变是导致上述处理改变磁晶各向异性的原因[16]。界面(表面)自然可以着成是一种特定的原子对排列，由于界面(表面)存在所导致的磁各向异性可以看成一种特定的晶体各向异性[17]。
1.2.2  磁场感生各向异性
在合金或化合物中,无论是晶态或非晶态,都可以通过低于居里点下的适当的工艺处理,使两种不同原子在某一方向形成同类原子对或更多的同类原子链,这样会形成磁各向异性,可称之为磁场感生的各向异性[16]。 溅射软磁金属薄膜磁各向异性构建(2):http://www.751com.cn/cailiao/lunwen_30044.html