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    化学气相沉积法:化学气相沉积法是在远高于热力学计算临界反应温度条件下,反应产物蒸气形成很高的过饱和蒸气压,然后自动凝聚形成大量的晶核,晶核长大聚集成颗粒,沉积吸附在基体材料上即可制得无机膜。对于氧化铝膜可采用下列热分解反应制得:
    2Al (OC3H7)(g)(42℃)=Al2O3(s)+6C3H6(g)+3H2O(g)
    溶胶-凝胶:采用化学纯的Al(NO3)3和氨水,分别配成1M的Al(NO3)3和1M的NH3•H2O的溶液,将氨水加热至85℃后,等当量的Al(NO3)3溶液缓慢地滴加到氨水中,边加边搅拌1h后,加入一定量的HCl溶液作为胶溶剂,85℃下搅拌保持24h,得到稳定透明的勃姆石溶胶同。
    热分解法:热分解法,对工艺条件要求非常严格,不宜控制。
    多孔阳极氧化铝膜结构模型的研究最早始1932年,经过长时间的研究,科学家纷纷提出了各种模型,分别为:1953年F.Keller等人提出蜂窝状结构模型[14];1961年J.F.Murphy等人提出三层结构模型[15];1970年J.P.O’Sullivan和G.C.Wood对Keller模型进行了修正[16];1978年G.E.Thompson和G.C.Wood提出两层结构模型[14];1986年K.Wada等提出硫酸模板的五层结构模型[16]。
    目前普遍认同的是修正过的Keller模型,在这个模型中,多孔阳极氧化铝膜由底层薄而致密的阻挡层和其上厚而疏松的多孔层构成。多孔层的膜胞为751角形紧密堆积排列,每个膜胞中心都有一个纳米级微孔,这些微孔大小均匀,且与基体表面垂直,彼此之间平行,且靠近电解液一侧的膜孔径较孔底孔径大,这主要是因为孔口壁被强烈水化造成的[13]。
    1.2.3 阳极氧化条件对多孔氧化铝膜结构的影响
    一般来说,阳极氧化的时间越长,氧化膜的厚度越厚,孔的形状就越规则,但氧化时间的长短对孔洞的孔径没有影响。电解液浓度对多孔型阳极氧化铝膜的生成有重要的影响。孔洞直径的大小随电解液的浓度升高略有增加。但浓度过低时,氧化不能形成:而浓度过高时,酸液的腐蚀性也会将氧化层腐蚀掉,因此在制各过程中,电解液的浓度应控制在一定的范围内。氧化电压的大小对制备多孔氧化铝膜有很大的影响,氧化电压过低,氧化仅停留在表面,不向深度发展;氧化电压过高,则产生溶解,整个试样逐步被溶解到溶液中,所以要持续稳定地让氧化向纵深发展,氧化电压应保持在一定的区间内
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