MATLAB非球面镜轮廓测试技术研究(3)

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盘的相对位置来提高测量非球面的精度。具体包括以下内容：

(1) 研究接触式测量方法的测量原理，研究基于接触式轮廓仪的平面镜、球面镜及非球面镜的各项参数检测方法，重点研究非球面镜的检测方法；

(2) 对于实际待测件球心未可知且与转盘转轴存在偏心距的情况建立物理数学模型，推导面形测量值与转盘转动角度之间的理论公式；

(3) 根据理论公式对于实际情况进行仿真，计算偏心距的大小并根据设备的精度估算的精度大小；

(4) 运用Taylor-Hobson轮廓仪进行一些较为简单的平面镜及球面镜的测量；

(5) 基于实验室实验器材和方案可行性考虑，进行实验装置的初步搭建与调试；

(6) 在搭建好的平台上进行实验检测，包括探头零点的确定、待测件的摆放、数据采集以及偏心距的调整；

(7) 研究实验检测中对测量结果可能会造成影响的其他因素，如环境振动，位移精度，及轮廓仪光学探头受力调整时带来的影响。

2 偏摆式非球面检测技术

2.1偏摆式非球面检测技术的测量原理

非球面即为与球面有偏离的表面。任何一个非球面都可以通过其最接近球面和相应的偏离量(非球面度)[5]来唯一确定。通过测量非球面与其最接近球面之间的非球面度实现非球面面形的高精度测量是摆臂式轮廓法的基本原理。

与三坐标等传统的接触式测量方法相比，摆臂式测量方法的优点是它测量的仅仅是非球面相对于某一球面的偏离量，所需量程小，可以使用高精度小量程的传感器。

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