(4)测量方法灵活,既可以测量反射膜,也可以测量透射膜。
(5)测量速度快。
1.2 椭偏术的原理
椭偏术的原理是:当一束椭圆偏振光照射到被测样品上,反射光的椭圆偏振度会发生变化,通过这些变化可以得到被测样品的信息。根据椭圆偏振度变化的测定,计算得出两个基本的椭偏参数(反射或透射光的振幅比 和位相差 )。然后求解含有椭偏参数的方程式,从而得到样品的光学常数及它的厚度。
椭偏仪的结构图如椭偏仪的工作结构图源:自/751^-论,文'网·www.751com.cn/
L一光源:椭偏仪一般使用氦氖光来作为它的光源。
P一起偏器:偏振器是重要的光学元件,它能将任何偏振态的光变成线偏振光并定向传输。
W一 波片:1/4波片可以将线偏振光变成椭圆偏振光。当入射的线偏振光的光矢量与波片的快轴或慢轴成 角时,通过1/4波片可以使圆偏振光或椭圆偏振光变成线偏振光。
S一样品:一般为薄膜。
A一检偏器:用来检验光束是否为偏振光。
D一光电探测器:椭偏仪常用的探测器为光电倍增管,探测器用于接收检测经薄膜反射出来经过转换的线偏振光。
来自光源L的优良光源,通过起偏器P以后得到可调控的线偏光,线偏光照射到被测样品S表面后,光束的偏振态会发生变化,调节器后连有检偏器A,来检测系统输出端偏振态的变化。通过检测偏振光状态的变化,来定性分析被测样品对偏振光的变化影响,得到被测光学系统的参数。
此光波与被测样品间的相互作用是线性的,并且没有频率的变化,样品可通过下面的过程使偏振光波发生变化。
(a)透射:当一束光通过一各向异性媒质(折射率、吸收率或两者均存在各向异性)时,其偏振态将连续变化。文献综述
(b)反射或折射:当光波在两个不同的光学媒质界面上发生反射或折射时,偏振态会发生突变。这种变化的原因是,对于与入射面平行(P)和垂直(S)的两种线偏振光分别有不同的菲涅耳反射系数。
(c)散射:当光波穿过不均匀的媒质时,便发生散射,就像在乳状液体中那样。反射和透射并不明显影响原来光束的准直性,但散射不同于它们,通常伴随着散射能量在一个大的立体角范围内做重新分布现象 [2]。
根据改变光波偏振态的作用方式,可将椭偏测量术分为:散射椭偏术、透射椭偏术、反射椭偏术。本文主要涉及的是反射椭偏术,与透射和散射椭偏术相比具有更广泛的用途[3]。
2 反射椭偏术的琼斯矩阵分析
使用琼斯矩阵理论,构建偏振光经过PWSA式椭偏仪光学系统,通过检测其偏振态的变换,从而进行椭偏参数 的测定。