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摘要：在这次工作中，通过拉曼光谱我们氢化非晶硅（a-Si:H）和氢化纳米硅（ns-Si:H）薄膜做出了一个详细的结构特性研究。氢化纳米硅也被称作多晶硅薄膜，包含无序和有序硅两相。而拉曼光谱是在激光强度增加的情况下测定，用非常低的激光功率密度（0~1千瓦/平方厘米）来分析沉寂的薄膜结构。用更高的拉曼激光功率被用来诱导薄膜的结晶，高质量薄膜的特点为在500 cm-1 处出现一个尖锐的拉曼峰。这一特点在氢化纳米硅中比常规氢化非晶硅薄膜获得的更快，因为他们做为子晶层促进了异相成核的过程。激光功率密度对薄膜的结晶、晶体的尺寸和表面温度都能通过拉曼光谱分析来进行测定。本文重点讨论了不同的模型对拉曼光谱的影响并对它们进行分析。33072
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毕业论文关键词： 拉曼光谱 氢化非晶硅 氢化纳米硅 薄膜
Study on Quantum confinement Effects by Raman Scattering
Abstract:：In this work, we have made a detailed structural study of the hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) and hydrogenated nanocrystalline silicon (ns-Si:H) films by Raman Scattering.. Hydrogenated nano silicon is also called polycrystalline silicon thin film, containing the disorder and ordered silicon two-phase. The Raman Scattering is measured with the increase of the laser intensity, and the structure of the film is analyzed with very low laser power density (0~1 kW / cm).. The higher Raman laser power is used to induce the crystallization of the thin film, and the high quality film is characterized as a sharp Raman peak at 500 cm-1. This feature in the hydrogenated nanocrystalline silicon than conventional non hydrogenated amorphous silicon thin film obtained faster, as they do for the son crystal layer promotes the heterogeneous nucleation process. The crystal size of the film, the size of the crystal and the surface temperature can be determined by Raman Scattering. In this paper, the effects of different models on the Raman spectra and their analysis are discussed..
Keywords: Raman Scattering Hydrogenated amorphous silicon
Hydrogenated nano silicon Film
目录
1 绪论 1
1．1 项目目的和意义 1
1．2 研究现状和发展趋势 1
1．3 研究目的及意义 2
2 相关实验 5
2.1. 纳米硅薄膜沉积 5
2.2. 拉曼光谱测试法的原理 5
2.3. 纳米硅薄膜显微拉曼光谱表征 7
3 建立理论模型 9
3.1. 微晶尺寸对拉曼光谱的影响 9
3.2. 温度对拉曼光谱的影响 11
3.3. 纳米硅拉曼光谱模型的完善 13
4 数据分析 14
4.1. 纳米硅薄膜拉曼光谱的分析 14
4.2. 尺寸效应分析 21
4.3温度效应分析 21
5 论文总结与展望 23
参考文献 24
致谢 26
一 绪论
1.1课题的目的和意义
当今纳米科学技术的快速发展导致光子能量转换原理革新、光电性能提高和材料成本下降，将对有价格竞争力的可再生能源技术的发展起到极大的推进作用。半导体纳米线一方面具有独特的光吸收和电子输运特性，另一方面拥有电池结构多样性（如轴向、径向及核壳等）和材料用量少等优点，在下一代新型太阳电池方面具有很大的潜在应用价值。硅材料在太阳电池中的主流地位决定了硅基纳米线太阳电池在未来太阳电池中的角色和地位。量子限制效应（quantum confinement effect） 微结构材料三文尺度中至少有一个文度与电子德布罗意（deBroglie）波长相当，因此电子在此文度中的运动受到限制，电子态呈量子化分布，连续的能带将分解为离散的能级，即形成分立的能级和驻波形式的波函数。当能级间距大于某些特征能量（如热运动量KB；塞曼能hω，超导能隙Δ等）时，系统将表现出和大块样品不同的甚至是特有的性质，例如超晶格中由于能级离散引起的带隙展宽及吸收边的蓝移。