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    摘要在光学冷加工领域，平晶是常用到的计量器具，而平面度是其参数指标中极其重要的一个环节。作为测量标准其本身的平面度指标需具备良好的精度。在我国现行的计量领域还主要依靠人工目视测量，采用光圈公差( )和局部光圈公差( )来表征。这种测量方式的判读效率以及结果精度以及远远不能满足经济社会发展的速度需求。63016

        论文对现有平面度测量技术进行了总结和回顾，重点介绍了一种基于图像处理技术的平面度测量系统的测量原理与操作方法，通过对直径为150mm平晶的多次实测对该测量系统进行了实验研究，对实测数据进行了误差分析，对系统存在的缺陷提出了改进意见。

    毕业论文关键词：平面度  测试系统  图像处理  误差分析

    毕业设计说明书（论文）外文摘要

    Title  Flatness measurement system--experimental research

    Abstract In traditional optical cold processing field. Flat is a commonly used measuring instrument. So flatness is very important of its parameters. To be a measuring standard ,its own flatness index need to be very precise. We always rely on visual measurement in our current metric field. Using aperture tolerances ( ) and partial aperture tolerances ( ) to characterize the flatness. But the efficiency and accuracy of this way can not meet the demand of economic and social development speed.

        This paper reviews and summarizes the existing flatness measurement technology,introduces the measurement principle and operation method of image processing technique based on flatness measurement system,the number of measured diameter 150mm crystal was studied on the measuring system,the measured data error is analyzed and suggestions for improving defects are discussed.

    Keywords：flatness  measurement system  image processing  error analysis

    1  绪论 1

    1.1  课题研究背景与意义 1

    1.2  平面度测试系统研究现状 1

    1.3  本文研究的内容 3

    2  平面度测量系统 4

    2.1  干涉原理 4

    2.2  干涉仪 6

    3  干涉条纹的图像处理 10

    3.1  干涉条纹的图像处理基本原理 10

    3.2  干涉条纹图像处理的基本流程 10

    4  平面度测试系统测量方法及对比 15

    4.1  平面度测试系统测量方法 15

    4.2  平面度测试系统测量方法的对比 18

    5  实验研究 19

    5.1  面型偏差的指标 19

    5.2  平面度测量步骤 20

    5.3  误差分析 24

    结  论 28

    致  谢 29

    参考文献 30

    1  绪论

    1.1  课题研究背景与意义   

        基面具有的凹凸高度相对于理想平面的误差称之为平面度[1]。对平面度的评定方法有很多种，比如最小包容区域法、最小二乘法、对角线平面法和三远点平面法等。但是对于精研表面的平晶、研磨面平尺这类平面，一般均采用干涉法进行检测，干涉法测量就需使用干涉仪。

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