平面度测试系统--实验研究(3)

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式中：表示两束光达到某点的光程差；

、分别为两束光的光强；文献综述

为光波长。

干涉条纹是光程差相同点的轨迹，其中亮条纹和暗条纹的方程可表示如下：

（2-2）

式中：为干涉条纹的干涉级。

干涉仪中两支光路的光程差可表示为：

（2-3）

式中：、分别为干涉仪两支光路的介质折射率；

、分别为干涉仪两支光路的几何路程。

通过在干涉仪的一直光路中引入被测量，干涉仪的光程差就会发生变化，干涉条纹也会随之变化，这时可测量出干涉条纹的变化量，就可以获得与介质折射率和几何路程有关的一系列物理量和几何量。

如果用平面图像记录设备记录这种光强分布，就得到一系列明暗交替的条带，这些条带阵列即是干涉条纹图，以上便是干涉条纹图的形成原理。

干涉测量的条纹质量是否优良表现为条纹的对比清晰度[10]。干涉条纹的对比度定义为：

式中，和分别为静态干涉场中光强的最大值和最小值，也可以理解为动态干涉场中某点的光强最大值和最小值。

对于各种类型的干涉仪，降低干涉条纹清晰度的普遍原因是：

1）光源的时间或空间相干性；

2）两束相干光光强不等

3）有杂光存在；

4）相干光的偏振状态不一致

2.1.2 等倾和等厚干涉基本原理

下图为等倾干涉原理及条纹图，如图所示扩展光源MM´的光被半反半透的玻璃基板AA´反射到平板Y的上下两个表面，两表面的反射光透过透镜L，会聚到光屏X上，相同角度的入射光线最终会聚于同一位置，光程差随入射角的变动而变化，最终形成干涉条纹，如下图所示为一系列明暗相间的同心圆环[11]。

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