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    摘要本次研究对象主要是菲索干涉仪。研究的目标是了解并掌握此类干涉仪的校准技术，其主要是从该干涉仪光路构成着手，研究干涉仪内部元件在光路中角色如位置余量等等，最终得出待测物件与干涉仪成像的关系以及成像时产生的误差大小，元件的设计余量，以及实物与CCD中成像的一致性，其中包括误差的计算，以及光路中每个元件在成像产生误差时对误差的影响。研究中还涵盖了少量该干涉仪完成工作后对测量元件的修正和该干涉仪内部光学元件的制造。本次研究中许多计算部分是使用了Auto CAD软件来完成实现的。63718

    毕业论文关键词    干涉仪  设计余量  光路  CCD成像

    毕业设计说明书（论文）外文摘要

    Title   Large aperture interferometer alignment technology 

    Abstract

    The object of this research is mainly Fizeau interferometer. The aim of this study was to understand and master the calibration technique of interferometer, which is mainly from the interferometer light path component set, interferometer of internal components such as the position and role of margin in the light path, eventually reached the error size relationship of object to be measured and interferometric imaging and imaging, margin design element, and consistency of imaging objects and CCD, including error calculation, and each optical element to produce error in the imaging of the influence of the error. Research also covers the manufacture of correcting the measuring element and the interferometer inside a few optical elements of the interferometer after completion of the work. Many computational part of this study is to use the Autocad software to complete the implementation of the.

    Keywords  interferometer   Design margin   light path   CCD display

    目录

    1 引言 5

    1.1课题研究背景 5

    1.1.1 干涉仪在现今测量领域的应用 5

    1.1.2 现今国内外干涉仪的发展与介绍 5

    1.1.3 小工具加工技术（小磨头、磁流变、离子束） 11

    1.1.4 装校余量 13

    1.2本文研究内容及研究手段 14

    2 菲索干涉仪的整体结构 15

    2.1干涉的基本原理 15

    2.2菲索干涉仪基本结构 15

    2.3菲索干涉仪光路结构 16

    2.4直准直方式 20

    2.5菲索干涉仪系统整体框架 20

    3 模拟光路及元件各项参数与物像计算 22

    3.1 光路的模拟 22

    3.2 Φ100口径干涉仪各元件在光路中的参数与冗余 23

    3.2.1Φ100口径干涉仪光路展开 23

    3.2.2Φ100口径干涉仪元件冗余 24

    3.2.3Φ100口径干涉仪十字丝调整变化范围讨论 26

    3.3 Φ600口径干涉仪各元件在光路中的参数与冗余 27

    3.3.1 Φ600口径干涉仪元件冗余 27

    3.3.2 Φ600口径干涉仪十字丝调整变化范围讨论 28

    3.4 实物与成像 29

    3.4.1反射镜成像原理

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