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集成化智能压力传感器运用了微
机械
加工技术以及大规模集成电路的工艺技术,用硅作为基本材料来制造敏感元件、信号处理电路以及微处理器单元,并且把它们集合在一块芯片上而形成的。在微电子技术飞速发展的今天,以及因为微米/纳米技术飞快的发展,用这种办法制作出的智能压力传感器有着体积微小、精确度很高、一体化的结构、阵列式、功能多样、完全的数字化、操作相当简单以及使用非常方便等特点。
混合式智能压力传感器则是根据需求或者可能,把系统的各个集成化环节,例如敏感部分单元、信号处理电路、微处理器单元以及数字总线接口,用不一样的组合方法集成在两块或者三块芯片上,然后装在一个外壳里。混合集成实现智能化是一种非常适合当前技术发展的智能化途径。
1.4 工作原理
本次设计的压力传感器利用的是液体的压强原理,当传感器在液体中时,它会检测液体底部压强和标准大气压的压差;扩散硅压力芯体在受到压力作用下产生变形,于是其中的平衡电桥被打破,电路便会输出与压力相对应的电压,而压力又与液位的深度相对应,以此来获得液位深度这个量。
1.5 本文主要研究的内容
本篇文章通过对压力传感器的研究、对集成扩散硅式压力芯体的认知以及对Atmega128单片机的了解,设计基于压力测量的智能型液位传感器,对液位测量有着实际意义。这次的研究对于认识智能压力传感器也有着很大的帮助。本次设计的智能型液位传感器,结构相当简单,制造过程也很容易实现,大多数液位测量场合下都是可以使用的,所以我觉得这次设计的传感器是有希望进一步代替现在的许多液位测量仪器的。
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