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    8

    2.2 真空吸盘结构设计 9

    2.2.1真空吸盘的选取 9

    2.2.2 吸盘选取的方案 9

    2.2.3吸盘结构的总体结构设计 10

    2.3本章小结 12

    第三章 伯努利非接触真空吸盘的仿真研究 13

    3.1 FLUENT软件的介绍 13

    3.1 .1程序的结构 13

    3.1.2FLUENT程序可以求解的问题 14

    3.1.3 FLUENT程序求解问题的步骤 15

    3.1.4 FLUENT方法的选择 15

    3.1.5 边界条件的确定 15

    3.1 .6  吸盘的建模及求解条件设置 16

    3.1 .7 非接触真空吸盘仿真计算的结果分析 19

    3.2 本章小结 20

    第四章 非接触夹持装置气动平台设计 21

    4.1.1 气动系统的组成和优点 21

    4.1.2运动平台的功能设计 22

    4.2 气动元件的选择 25

    4.2.1 气缸的选择 25

    4.2.2 电磁阀选择 27

    4.3 本章小结 27

    总  结 28

    致  谢 29

    参考文献 30

    第一章 绪论

    1.1 课题的背景和意义

        在制造业方面，有许多独特的物理特性和存在的具体的质量要求，需要进行非接触式，非污染的运输模式。如大尺寸液晶基板，计算机芯片和其他电子设备以及高精度光学相机等精密零件，传统的接触工件表面处理技术，因为运输机构会产生微小的划痕，杂质或静电微污染的产品质量不能满足需求，因此在实践中新的非接触式加工迫切需要。近年来，学者开始非接触处理技术的研究，许多国际制造商开发的非接触处理设备，根据工作原理可分为光学悬浮，静电悬浮，磁悬浮、超声悬浮、电磁悬浮以及空气动力学原理实现的非接触式搬运。非接触式搬运，应用很广，如气悬浮车的悬浮高度仅为3mm，速度可达时速可达600km／h以上；西北工业大学，利用超声波使高密度的金属钨悬空，有利于新材料的制备;德国开出的晶圆搬运机器手以非接触式的方式最多可运300mm直径的晶圆，工具和晶圆的间隙约在0.05mm一0.5mm之间；另外非接触式搬运在制备和材料的合成方面也有重要应用。然而，这些非接触式处理技术也有其局限性，如磁悬浮和电磁悬浮受到导电材料的限制；超声波悬浮装置更加复杂和昂贵，限制了它的通用性。近年来，出现了一种新的真空非接触式吸取技术，它利用压缩空气作为动力源，实现了非接触式的吸取，从而减少了对工件的划痕、污染，而且不受其它被吸物体的限制，在IC、IT等最顶尖的产业中，半导体，液晶制造等具有广阔的应用前景。

    1.2 非接触式真空搬运技术研究现状

     1.2.1 非接触夹持方式的实现形式     

         非接触式夹持是通过电磁学，光学，声悬浮和空气学原理来实现的。

    1、磁力悬浮 

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