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检测原理、现象 具有代表性的气敏元件及材料 检测气体
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SnO2、ZnO、In2O3、W2O3、β-Cd2SnO4
有机半导体、金属等
γ-Fe2O3、α-Fe2O3、CoC3、Co3O4、La1-xCoSrO3、TiO2、CoO、CoO-MgO、Nb2O5 可燃气体如C2H2CO、NO2
可燃气体如
CnH2n、CnH2n-6
非电阻型 二极管整流作用FET气敏元件
电容型 Pd/CdS、Pd/TiO2、Pd/ZnO、Pt/ TiO2、
Au/ TiO2、Pd/MoS
以Pd、Pt、SnO2为栅极的MOSFET
Pb-BaTiO3、CuO-BaSnO3、CuO-BaTiO3、
AgCuO-BaTiO3 H2、CO、SiH4
H2、CO、H2S、NH3CO2气 固敏 体元 电件 解 质 电池电动势
混合电位电解电流
电流 CaO-ZrO2、Y2O3-ZrO2、Y2O3-TiO2、LaF3
KAg4I5、Ba(NH3)2、SrCe0，95Yb0.05O3
CaO-ZrO2、Zr(HPO4)nH2O、有机电解质
CaO- ZrO2、YF6LaF3
Sb2OnH2O O2、卤素、SO2、
SO3、CO、NOn
CO、H2H2O2
接触燃烧式 燃烧式(电阻)
恒电位电解电流
伽伐尼电池式 Pt丝+催化剂(Pd、Pt-AL2O3、CuO)
气体透过膜+贵金属阴极+贵金属阳极
气体透过膜+贵金属阴极+贵金属阳极 可燃性气体
电化学式 其他类型 红外吸收型、石英震荡型、光导纤维、热传导、气体色谱法、
声表面波气体传感器 无机气体
有机气体
(1) 电阻型半导体气敏传感器
电阻式半导体气敏传感器是一种最常见的半导体金属氧化物陶瓷气体传感器，它具有制造成本低、加工工艺简单、灵敏度高、响应速度快等特点。通常该气敏传感器是利用金属氧化物(例如：SnO2，ZnO，Fe2O3，TiO2等)所制成的阻抗元件。被测气体在其表面进行还原反应从而导致它的电导率会根据待测气体的浓度发生变化。但是为了气敏传感器的下一次测量，必须对气敏传感器的半导体部分进行一次氧化反应，所以要在传感器内部加装一个加热器来促进氧化反应的速率。同时为了防止气敏传感器出现硫中毒的现象，可以使用一些新型的半导体材料，从而提高气敏传感器的灵敏度和响应速度。