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2.1 卷绕式镀膜机工艺流程
将所需加工的薄膜装入卷绕系统，然后关闭左右车。对真空室进行抽气，真空室真空度达到0.01Pa，由放卷辊放出原膜经冷却辊时真空阀门组成。在开始抽空前，必须先对油增压泵、油增扩泵进行2 h左右的预热，使泵内油温升到220℃以上，该泵才可工作，进行真空室的抽空。真空系统启动的顺序是，当镀材在收、放辊之间放置好后，关闭左右小车，首先启动粗抽泵，打开旁通阀，粗抽阀，真空室压力小于2000 Pa时关闭旁通阀，开启罗茨泵，当真空室气压小于10 Pa时，关闭粗抽阀，开前级阀，开高真空阀，室体真空度压达到0.01 Pa时可对镀材进行加工。当镀材加工完毕后，又必须按工艺要求关闭各泵、阀。泵、阀的控制之间有严格的联锁、互锁条件。若泵、阀的开关顺序有误，将造成真空泵的损坏。结构如图2.1所示。
1粗抽泵 2 旁通阀 3 罗茨泵 4 粗抽阀 5 前级阀 6 文持泵
7 扩散泵 8 高真空阀 9 放气阀 10 11 真空测量规管 12 电接点真空表
13 下真空室 14 上真空室
图2.1 卷绕式镀膜机控制系统结构图
（1）真空室为卧式圆筒形，304不锈钢制造，真空室尺寸Φ1000～1400mm；
（2）真空系统1至2台扩散泵、罗茨泵、机械泵等组成，采用气动及电磁阀等阀门；
（3）卷绕系统采用6至10组辊子，收卷辊、放卷辊、水冷辊各由一台电动机驱动；
（4）镀膜系统根据产品可选择蒸发送丝镀膜系统或磁控溅射镀膜系统。送丝机构含有坩埚、电极、水冷、送丝机、电源等。磁控溅射可配1-4只平面靶及溅射电源；
（5）真空辅助抽气系统配一台快速循环低温水汽捕集器。
卷绕式镀膜机其工作过程如下：将所需加工的薄膜装入卷绕系统,然后关闭左右车。对真空室进行抽气,真空室真空度达到0.01Pa，由放卷辊放出原膜经冷却辊时由蒸发系统将送铝丝机构送来的铝丝蒸发成为铝蒸汽，溅射到薄膜上，铝蒸汽凝结在薄膜上形成铝层，由收卷辊收卷。当放卷辊薄膜全部由收卷设备收卷后，关闭蒸镀系统，送铝丝系统，真空室充入空气到大气压，打开真空室，卸料、装料完成一个工作周期。其工艺如图2.2所示。
图2.2 卷绕式镀膜机工艺流程图
卷绕系统由放辊,冷却辊,收辊及压辊构成。镀材由放辊放出，经冷却辊传送,收辊收卷。收辊、冷却辊由交流电动机拖动,交流电动机由变频调速器控制,放辊由制动器控制。在镀材由放卷辊放出、收卷辊收卷的过程中要求薄膜上的张力在允许的范围内变化。由放卷辊放出的原膜经放侧导辊、张力检测辊、在中间辊上进行处理，经收侧导辊、张力检测辊，由收辊收卷。在设备工作过程中卷径变化时卷材张力的变化范围有严格的要求。送铝丝系统由步进电动机驱动，将被蒸发材料铝丝送到蒸发舟上,蒸发舟由晶闸管交流调压器控制,在真空环境下，铝丝到达蒸发舟后迅速融化、蒸发,溅射到被冷却辊冷却的镀材上形成一定厚度的薄膜。在设备工作的过程中根据镀材的速度及膜层厚度要求调节送铝丝的速度,根据送铝丝的速度调节蒸发舟的电压、温度，以保证铝丝迅速蒸发。由以上过程可知，镀膜机的整个工作流程是处于真空环境下操作的。因此真空系统的自动控制对提高卷绕式镀膜机的工作效率的提高起决定作用。其基本特点有：
（1）卷绕系统采用高精度支流或交流变频调速，具有运行平稳、速度高、对原卷材不划伤、不折皱、收卷端面整齐等特点； （2）张力控制采用进口数字张力控制系统，具有张力、线速度恒定，动作快速的特点； （3）各组送丝由微机电机独立控制，可总调或单独调速，并有速度显示； （4）真空系统配置精良，抽气速度快，采用PLC控制； （5）配备大功率电源，镀膜效率高，膜层均匀性好。
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