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(2)空间分辨率
对于样品厚度的分析，使用电子的入射电子显微镜将主要通过膜样品。 在这种情况下，样品中增加的入射电子没有作为大样品扩散成片，分析相对高的空间分辨率。 在分析电子显微镜的分析中，电子束在样品中的膨胀对空间分辨率有影响，加速电压是样品的密度，入射光束直径，样品厚度的可变空间分辨率元素。
(3)峰/背比(P/B)
特征X射线的强度与背底强度之比称为峰背比P/B，当在进行高精度分析时，希望峰背比P/B高。按照札卢泽克的公式，探测到的薄膜试样中元素的X射线强度N的表示式如下： N=(IσωpN0ρCt )/4επM
式中：I——入射电子束强度；σ——离化截面；ω——荧光产额；
p——关注的特征X射线产生的比值；N0——阿弗加德罗常数；ρ——密度；
C——化学组成(浓度)(质量分数，%)；t——试样厚度； ——探测立体角；
ε——探测器效率；M——相对原子质量。
如果加速电压升高，产生的特征X射线强度稍有下降，但是，来自试样的背景X射线却大大减小，结果峰背比P/B提高了。
(4)定性分析
光谱的峰存在于样品中的元素。定性分析是在未知样品，其含有的歧视元素的分析的第一步。如果该项目不能正确测定样品的组合物中，定量分析的最终精度将是没有价值的。通常能够可靠地识别该样品的主要成分，但次要或痕量测定的元素不仅严重与生产线，变形等干扰谱线为每个任务的项目，要准确。以确保定性分析的可靠性，当所采取的两个光谱应小心：首先，收获到分光计能量校准刻度的光谱之前，零和增益的单位值是值的适当范围内，并且第二中，为了获得良好的能量分辨率选择适当的操作条件，其中的峰值量是足够的要素，没有中断最小的EDS频谱噪声和尖峰噪声或杂散辐射进行分析。
①自动定性分析
自动定性分析是根据能量位置来确定峰位，直接单击"操作/定性分析"键位，就开始自动定性分析，在谱的每个峰的位置显示出对于的元素符号。
②手动定性分析
自动定性分析是识别短时间的特征，但是由于峰值光谱的重叠干扰非常强大，很容易自动识别出错误发生，如L系统误识别为系统中另一个元素的一部分K， 是穷人。 所以分析人员定性分析仪器自动结束后的过程，也要手动识别错误元素的定性分析。 所以虽然有自动定性分析程序，但分析师自己的定性分析技术很重要。
(5)定量分析
定量分析用于通过X射线强度的元素获得样品的材料组成的浓度。 看实际情况，人们正在寻找并制作未知样品和标准强度比法，当强度比校正后以定量转换浓度比。 最广泛使用的技术是定量校正ZAF校正。软件提供了两种定量分析方法：没有标准的定量分析和定量分析是标准色谱。
(6)元素的面分布分析方法
电子束击打只是一点点的样品，给出一点点X射线谱的分析是分析点。 不同的是用扫描装置观察到的，使二维扫描电子束在样品上，测量特征X射线的强度，使得与与扫描信号同步的亮度变化对应的强度为 显示在阴极射线管CRT上，您可以获得二维图像的特征X射线强度分布。 这种观察方法称为分布表面分析方法的要素，是一种二维分布的要素，是非常容易使用的测量方法。
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